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ローコストでフォトリソグラフイに必要な機能を完備!マスクアライナー
【仕様】 ■形式 ・等倍片面露光式マスクアライメント装置 ■露光方式 ・1・1等倍露光 コンタクトおよびプロキシミティ ■適応試料 ・最大φ4インチ 厚さ3mm以内 ・各サイズとも試料台の変更により対応可能 ■固定方式 ・真空吸着式 ■適応マスク ・最大□5インチ 厚さ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノテック
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プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光!ナノテックの露光…
【仕様】 ■アライメント形式 ・マスクー試料裏面または表面観察によるビデオメモリアライメント ■露光方式 ・1.1(等倍)コンタクト露光 ■適応試料 ・サイズ最大 BA100φ4インチ BA160Φ6インチ ■適応マスク ・サイズ最大 BA100□5インチ BA160□7インチ ■アライメントステージ ・マ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノテック
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