光学式エンドポイントモニター【Verity社製】

超高性能エンドポイント検出システム 検出困難だったイオンミリングプロ…

エッチャー内のプロセスによる発光をリアルタイムに モニタリングすることができます。 CCDセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、 UV領域の感度が高く、 検出困難だった微細な変化でも捉える分光計を備えています。 さらに、真空フィードスルーオプションで イオンミリングプロセスにも対応します。 Verity社製光学式エンドポイントモニターは 真空中のサンプ...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社