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デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA…
装置仕様:IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥 乾燥対象:6インチ 1カセット相当 シリコン、ガラス、部品等 槽構成:ステンレス製蒸気乾燥槽1層 アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法:幅1,050(mm)× 奥行1,200(mm)× 高さ2,000(mm) ...
メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社
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