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薬液や純水ラインでの逆流防止に!接液部が全てPTFEなので様々な腐食性…
半導体製造装置や薬液配管の流体の逆流を防ぐ逆止弁(チャックバルブ)です。スプリングなどの接液部は全てPTFE製で、低いクラッキング圧力で作動します。Oリングなしでシールが可能で、高純度流体に最適です。...
メーカー・取り扱い企業: ゲミュージャパン株式会社
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