マイクロチャンバー

超高真空・極低酸素雰囲気に対応！

【仕様】 ■チャンバー内到達真空：10-6Pa台（但しTMP直結時） ■リークレート：1×10-10Pa・立方メートル/sec以下 ■チャンバー材質：ステンレス ■測定プローブ：タングステン（先端20μmR、4組） ■プローブ移動距離：X軸±6mm、Y軸±6mm、Z軸±8mm ■電流導入端子：最大16.5A（1組） ■熱電対：Kタイプ（1組） ■寸法：W350×D315×H...

メーカー・取り扱い企業： エスティー・ラボ株式会社