エスティー・ラボ株式会社 マイクロチャンバー
- 最終更新日：2016-05-20 11:43:51.0
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超高真空・極低酸素雰囲気に対応！
本製品は、高温、超高真空及び極低酸素雰囲気対応のステンレス製
マイクロチャンバーです。
4組の測定プローブ（深針）は、3軸（X,Y,Z）ステージにより高精度に
位置決めが可能であり、ぺルチェ素子やマイクロヒーターを組込み、
試料の加熱冷却が可能です。
付属ターボ分子ポンプにより到達真空1×10E-6Paの高真空雰囲気が
得られます。
【特長】
■”リークゼロ”の超高真空（1x10E-6Pa）に対応
■各種デバイスやセンサー開発に活躍
■試料の加熱冷却が可能
■3軸ステージ（X，Y，Z）により高精度な測定プローブの位置決めが可能
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報マイクロチャンバー
【仕様】
■チャンバー内到達真空：10-6Pa台（但しTMP直結時）
■リークレート：1×10-10Pa・立方メートル/sec以下
■チャンバー材質：ステンレス
■測定プローブ：タングステン（先端20μmR、4組）
■プローブ移動距離：X軸±6mm、Y軸±6mm、Z軸±8mm
■電流導入端子：最大16.5A（1組）
■熱電対：Kタイプ（1組）
■寸法：W350×D315×H120
■重量：約12kg
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■各種デバイスやセンサー開発 ■試料の加熱冷却 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログマイクロチャンバー
取扱企業マイクロチャンバー
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コンピュータによる自動制御・計測システム ●酸素ガス制御システム ●科学実験装置設計・製作 ●分析システム ●真空実験装置設計製作 ●設計業務
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