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加湿用膜モジュール『サンセップ』 空気・ガスの加湿 小流量も可
PRサンセップなら、純水を流すだけでガスの加湿が可能!
【サンセップによるガスの加湿方法】 方法1. 純水 供給する純水の温度でガスを水蒸気飽和させることができます。 方法2. 湿潤ガス(無給水加湿) 供給する湿潤ガスと同等の湿度までガスを加湿できます。 空気中の水分量と同じくらいまで加湿したいときに便利! 【サンセップ加湿の特徴】 ■ガス成分を損なわない 非多孔膜を使用して加湿を行うため、ガス成分を失うことなくガスの加湿...
メーカー・取り扱い企業: AGC株式会社 化学品カンパニー
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ワークをクリーンに水切り乾燥します。
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です。 遠心力とULPAフィルタを介したエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【仕様】 ○駆動エアー 0.3Mpa (3Kg/cm2) ○最大処理量 8インチ×25枚キャリア 1キャリア ○ULPAフィルタ 有 ○イオナイザ 有 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コクサン
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クレードル起し機構により、自動でクレードルを起します。
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です。 遠心力とエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します。 クレードル起し機構により、自動でクレードルを起します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【仕様】 ○駆動エアー 0.5Mpa (5Kg/cm2) ○最大処理量 6インチキャリア×2架 5インチ以下キャリア×2架又は4...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コクサン
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