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簡単操作、非接触、迅速、高分解能、低価格のナノ表面粗さ、段差形状測定装…
光ヘテロダイン干渉計測を利用したコンパクトで、振動に強く、高さ分解能が0.1ナノと高精度な測定を提供する表面粗さ・形状測定システム。 計測時間も大幅に短縮でき、防振台不要でラインでの全数検査もできる。 広範囲の計測が可能で多点計測や大型試料にも適用可能。 <主な特長>...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社シスコム(SysCom)
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