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業界トップクラスの基本性能
、イオン注入、PVDなど) •省エネ、省スペース A4シリーズ •マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現 •ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制 •耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化 •優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長 •拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御(冷却...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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