伯東株式会社 *ドライポンプAシリーズ

最終更新日：2022-04-18 09:58:31.0
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業界トップクラスの基本性能

A100L / A200L
•ロードロック、クリーンプロセス向けトランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ
•低振動、高スループット：20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能
•高効率モーター採用による低消費電力化を実現
•コンパクト設計　設置面積 0.17m2　縦置き・横置き選択可能
•2段積み可能（吸気口向き水平のみ）

A103P
•ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど）
•省エネ、省スペース

A4シリーズ
•マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現
•ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制
•耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化
•優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長
•拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御（冷却水センサー、振動ボックス等）
•ホットN2により、ポンプ内部及び排気配管の詰まりを防止
•IP33、SEMI S2およびULに準拠

関連リンク

基本情報*ドライポンプAシリーズ

ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※型番・数量によって納期が変動いたします。お気軽にお問い合わせください
型番・ブランド名	ファイファーバキューム社製Aシリーズ
用途／実績例	【用途】 A100L / A200L •ロードロック、クリーンプロセス向けトランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ A103P •ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど） ADHシリーズ •ALD、エピタキシャル成長、EUVプロセスに最適　（水素、シラン系ガスに使用可能）

ラインナップ

型番	概要
A100L	•排気速度：1,667 l/min •到達真空度：0.66 Pa •吸気口径：50ISO-KF •排気口径：25ISO-KF
A200L	•排気速度：3,340 l/min •到達真空度：1.3 Pa •吸気口径：50ISO-KF •排気口径：25ISO-KF
A103P	•腐食性ガス排気用モデル •排気速度：2,000 l/min •到達真空度：0.65 Pa •吸気口径：50ISO-KF •排気口径：25ISO-KF
A124H/X	•腐食性ガス排気用モデル •排気速度：1,587 l/min(50Hz), 1,837 l/min(60Hz) •到達真空度：5 / 2 Pa(50Hz/60Hz, パージなし)、30 / 10 Pa(50Hz/60Hz, パージあり) •吸気口径：50ISO-K •排気口径：40ISO-KF
A204H/X	•腐食性ガス排気用モデル •排気速度：2,158 l/min(50Hz), 2,656 l/min(60Hz) •到達真空度：20 / 5 Pa(50Hz/60Hz, パージなし)、70 / 20 Pa(50Hz/60Hz, パージあり) •吸気口径：50ISO-K •排気口径：40ISO-KF
A604H	•排気速度：7,968 l/min(50Hz), 9,296 l/min(60Hz) •到達真空度：0.3 / 0.2 Pa(50Hz/60Hz, パージなし)、1 / 0.6 Pa(50Hz/60Hz, パージあり) •吸気口径：100ISO-K •排気口径：40ISO-KF
A804H/X	•腐食性ガス排気用モデル •排気速度：9,960 l/min(50Hz), 11,620 l/min(60Hz) •到達真空度：0.8 / 0.4 Pa(50Hz/60Hz, パージなし)、2 / 0.9 Pa(50Hz/60Hz, パージあり) •吸気口径：100ISO-K •排気口径：40ISO-KF
A1204H	•排気速度：17,535 l/min(50Hz), 19,200 l/min(60Hz) •到達真空度：0.3 / 0.2 Pa(50Hz/60Hz, パージなし)、1 / 0.6 Pa(50Hz/60Hz, パージあり) •吸気口径：160ISO-K •排気口径：40ISO-KF
A1504H/X	•腐食性ガス排気用モデル •排気速度：18,260 l/min(50Hz), 19,920 l/min(60Hz) •到達真空度：0.8 / 0.4 Pa(50Hz/60Hz, パージなし)、2 / 0.9 Pa(50Hz/60Hz, パージあり) •吸気口径：160ISO-K •排気口径：40ISO-KF
A1804H/X	•腐食性ガス排気用モデル •排気速度：27,555 l/min(50Hz), 28,390 l/min(60Hz) •到達真空度：0.8 / 0.4 Pa(50Hz/60Hz, パージなし)、2 / 0.9 Pa(50Hz/60Hz, パージあり) •吸気口径：160ISO-K •排気口径：40ISO-KF
A3004H/X	•腐食性ガス排気用モデル •排気速度：49,800 l/min(60Hz) •到達真空度：0.4 Pa(60Hz, パージなし)、0.9 Pa(60Hz, パージあり) •吸気口径：160ISO-K •排気口径：40ISO-KF
A804XN	•腐食性ガス排気用モデル（Niコーティング） •排気速度：9,960 l/min(60Hz) •到達真空度：1.45 Pa(60Hz, パージなし)、2.4 Pa(60Hz, パージあり) •吸気口径：100ISO-K •排気口径：40ISO-KF
A1504XN	•腐食性ガス排気用モデル（Niコーティング） •排気速度：18,260 l/min(60Hz) •到達真空度：1.45 Pa(60Hz, パージなし)、2.4 Pa(60Hz, パージあり) •吸気口径：160ISO-K •排気口径：40ISO-KF
A1804XN	•腐食性ガス排気用モデル（Niコーティング） •排気速度：27,560 l/min(60Hz) •到達真空度：1.45 Pa(60Hz, パージなし)、2.4 Pa(60Hz, パージあり) •吸気口径：160ISO-K •排気口径：40ISO-KF
A3004XN	•腐食性ガス排気用モデル（Niコーティング） •排気速度：48,140 l/min(60Hz) •到達真空度：0.4 Pa(60Hz, パージなし)、0.9 Pa(60Hz, パージあり) •吸気口径：160ISO-K •排気口径：40ISO-KF
AD600H	•排気速度：9,960 l/min(H2), 9,960 l/min(N2) •到達真空度：2 Pa(パージあり) •吸気口径：100ISO-K •排気口径：50ISO-KF
AD3060H	•排気速度：54,780 l/min(H2), 53,120 l/min(N2) •到達真空度：0.2 Pa(パージあり) •吸気口径：160ISO-K •排気口径：50ISO-KF
AD4560H	•排気速度：74,700 l/min(H2), 74,700 l/min(N2) •到達真空度：0.2 Pa(パージあり) •吸気口径：200ISO-K •排気口径：50ISO-KF

詳細情報*ドライポンプAシリーズ

: ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。

A100L / A200L
•ロードロック、クリーンプロセス向けトランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ
•低振動、高スループット：20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能
•高効率モーター採用による低消費電力化を実現
•コンパクト設計　設置面積 0.17m2　縦置き・横置き選択可能
•2段積み可能（吸気口向き水平のみ）

A103P
•ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど）
•省エネ、省スペース

: ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。

A4シリーズ
•マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現
•ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制
•耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化
•優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長
•拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御（冷却水センサー、振動ボックス等）
•ホットN2により、ポンプ内部及び排気配管の詰まりを防止
•IP33、SEMI S2およびULに準拠

: ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。

ADHシリーズ
•ハイエンドプロセス用高性能ドライポンプ
•N2ガスと同等レベルのH2ガス排気性能
•ALD、エピタキシャル成長、EUVプロセスに最適　（水素、シラン系ガスに使用可能）
•マルチルーツ構造、高効率モーター、・アイドリングモードによる低消費電力化を実現
•ハイパワーモーターにより、大容量のパーティクル排出、ポンプ再起動時の故障を低減