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必要最小限の構成により低価格を実現!安定した混合ガスの供給が可能!
『CUBE GMシリーズ』は、マスフローコントローラー・制御電源・バルブ・ 逆止弁・ガスミキサーをオールインワンしたユニットタイプのガス混合器です。 IN側とOUT側に配管を接続するだけで2~4種類のガスを任意の流量に 設定・制御して、混合ガスを供給します。...
メーカー・取り扱い企業: エフコン株式会社 本社
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簡単操作で流量計測・制御可能!コンパクト・軽量の一体型ユニット
【仕様(一部)】 ■測定ガス気体 ・空気, 窒素, 二酸化炭素, アルゴン, 水素, ヘリウム, メタン, 酸素など ■バルブタイプ:ノーマルオープン ■流量レンジ:10SCCM-100SLM ■流量制御範囲:5-100% F.S. ■流量精度:±2%F.S.(動作保証範囲:15-35℃) ■再現性:±0.2%F...
メーカー・取り扱い企業: エフコン株式会社 本社
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幅広い分野で使用可能!ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ
【仕様(一部)】 ■測定ガス気体 ・空気, 窒素, 二酸化炭素, アルゴン, 水素, 酸素, ヘリウム ■バルブタイプ:ノーマルオープン ■流量レンジ:30SLM-50SLM ■流量制御範囲:5-100% F.S. ■流量精度:±2%F.S.(動作保証範囲:15-35℃) ■再現性:± 0.2%F....
メーカー・取り扱い企業: エフコン株式会社 本社
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