小型流量計測／制御ユニット『CUBEMFC』

簡単操作で流量計測・制御可能！コンパクト・軽量の一体型ユニット

【仕様(一部)】 ■測定ガス気体 　・空気, 窒素, 二酸化炭素, アルゴン, 水素, ヘリウム, メタン, 酸素など ■バルブタイプ：ノーマルオープン ■流量レンジ：10SCCM-100SLM ■流量制御範囲：5-100% F.S. ■流量精度：±2%F.S.（動作保証範囲：15-35℃） ■再現性：±0.2%F...

メーカー・取り扱い企業： エフコン株式会社 本社

マスフローコントローラ『1030/1050』

幅広い分野で使用可能！ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ

【仕様(一部)】 ■測定ガス気体 　・空気, 窒素, 二酸化炭素, アルゴン, 水素, 酸素, ヘリウム ■バルブタイプ：ノーマルオープン ■流量レンジ：30SLM-50SLM ■流量制御範囲：5-100% F.S. ■流量精度：±2%F.S.（動作保証範囲：15-35℃） ■再現性：± 0.2%F....

メーカー・取り扱い企業： エフコン株式会社 本社