【納入事例】自動車部品リークテスト用 高真空排気ユニット

ターボ分子ポンプを主ポンプとした『高真空排気ユニット』の事例をご紹介し…

ーボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型 油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。 ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの アングルバルブで真空チャンバーと接続します。 ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプは、車輪のついたカートに 取り付けられています。また主ポンプ、補助ポンプともに空冷ポンプですので、 排気ユニットはAC1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所