ガスフローセンサー

次世代タイプのガスフローセンサー

センサ（MEMS）素子と増幅器及びA/D変換回路を単一のCMOSチップ上に一体化しています。デジタルでキャリブレートされ温度補正されたセンサ信号は直接CMOSensチップ上でPWM信号に変換され、バルブを制御する高速のアナログ制御回路で使用されます。この結果、非常に高精度、速い設定時間、広いダイナミック・レンジが実現されます。すべてのデバイスはNISTトレーサビリティーに基づき校正されています。...

メーカー・取り扱い企業： センシリオン株式会社