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5μm以下対象物もピックアップ可能な、顕微鏡一体型マイクロマニピュレー…
ンプリング ■5μm以上の微小物の真空吸着と移動 ■10μm以下エリアの切削・切除 ■5〜200μm深さに埋没している10μm異物採取 ■5μm間隔での精密刻印・マーキング ■5μm以下パッドへのプローブコンタクト ■溶液の吸引・滴下操作 ■30μmのホール中の対象物ピックアップ ■繊維中インクのピックアップ ■FIB加工された薄片リフトアウト...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部
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従来では不可能だった顕微鏡下での精密作業が可能となるアクセサリー
アクシスプロとの組み合せで最大の性能を発揮
ンプリング ■5μm以上の微小物の真空吸着と移動 ■10μm以下エリアの切削・切除 ■5〜200μm深さに埋没している10μm異物採取 ■5μm間隔での精密刻印・マーキング ■5μm以下パッドへのプローブコンタクト ■溶液の吸引・滴下操作 ■30μmのホール中の対象物ピックアップ ■繊維中インクのピックアップ ■FIB加工された薄片リフトアウト...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部
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SiC基板側からドーパント濃度プロファイルを取得可能
SiCパワーMOS FET(図1)において、ゲートパッド部下のSiC中にてドーパント元素であるAlの濃度分布を素子表面側から及び裏面側からSIMSで評価しました(図2)。 分析を進める方向に関係なく深さ約0.5μm以降の分布もよく一致することから、A...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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5μm以下もOK。顕微鏡一体型マイクロマニピュレーター
ンプリング ■5μm以上の微小物の真空吸着と移動 ■10μm以下エリアの切削・切除 ■5〜200μm深さに埋没している10μm異物採取 ■5μm間隔での精密刻印・マーキング ■5μm以下パッドへのプローブコンタクト ■溶液の吸引・滴下操作 ■30μmのホール中の対象物ピックアップ ■繊維中インクのピックアップ ■FIB加工された薄片リフトアウト...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部
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5μm以下対象物もピックアップ可能な、顕微鏡一体型マイクロマニピュレー…
ンプリング ■5μm以上の微小物の真空吸着と移動 ■10μm以下エリアの切削・切除 ■5〜200μm深さに埋没している10μm異物採取 ■5μm間隔での精密刻印・マーキング ■5μm以下パッドへのプローブコンタクト ■溶液の吸引・滴下操作 ■30μmのホール中の対象物ピックアップ ■繊維中インクのピックアップ ■FIB加工された薄片リフトアウト...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部
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