【開発事例】タイミング発生装置

紫外線露光装置2台を同時に、高速高精度に制御できる装置を開発した事例を…

ご紹介いたします。 当社では、「半導体生産設備用の紫外線露光装置2台を同時に、 高速高精度に制御できる基板が欲しい」との依頼を受けました。 そこで、紫外線発生装置2台へ与えるシグナルパルス発生装置を開発しました。 【事例概要】 ■要求 　・半導体生産設備用の紫外線露光装置２台を同時に、高速高精度に 　制御できる基板が欲しい ■開発した装置 　・紫外線発生装置２台へ与...

メーカー・取り扱い企業： 協立電機株式会社