極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…

【その他の特長】 ■新開発のポンプ素子で低い圧力領域での放電を改良し、NEG(非蒸発型ゲッタ) 　モジュールにより、10^-10Pa台を実現 ■組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現 ■40％のサイズダウン(当社比) ■カバー、マグネットなどの塗装には、スムーズな表面の耐熱塗装が施されている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社