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真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲(1~80…
以下 ■最小検知濃度:5ppm(H2 を除く)H2:100ppm ■SEM感度:7.5 × 10^-5 A/Pa 以上 ■ファラディ感度 :7.5 × 10^-9 A/Pa 以上 ■接続フランジ:φ 70ICF ■質量:分析管1.1kg コントローラー2.2kg ■通信規格:RS-232C または RS-485 ■制御ソフトウェア:QUADVISION3 Win7、8.1、10 対...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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