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ウェハ表裏同時露光!セミオート動作で中ロット生産に対応
最大φ4インチ『BS425』 ・最大φ6インチ『BS620』 ■適用マスク ・最大口5インチ『BS425』 ・最大口7インチ『BS620』 ・マスク・ウェハサイズ変更は上下マスクホルダー交換 ■露光性能 ・有効露光範囲φ105mm Hgランプ250W ■UV照度 ・上側約15mW/cm2以上 ・下側15mW/cm2以上(at365nm) ・照度均一度約±10%...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノテック
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