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    WETプロセス装置 LCDマスク洗浄装置

    マスクをブラシ・USスプレーで洗浄、高速スピン回転で乾燥します。

    【特徴】 ○インテリジェンスコントロールによるマスク基板へのソフトコンタクト ○メカニカルサイドグリップ方式を採用したマスクパターン非接触 ○自動マスク反転機構を備えた両面洗浄技術 ○マスクケースより自動取り出し収納機構 ○超音波ノズルによるスキャンスプレー洗浄 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

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