マスクをブラシ・USスプレーで洗浄、高速スピン回転で乾燥します。
WETプロセス装置 LCDマスク洗浄装置は、LCD用マスクをブラシ及びUSスプレーにて洗浄し、高速スピン回転により乾燥を行います。
株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。
【特徴】
○インテリジェンスコントロールによるマスク基板へのソフトコンタクト
○メカニカルサイドグリップ方式を採用したマスクパターン非接触
○自動マスク反転機構を備えた両面洗浄技術
○マスクケースより自動取り出し収納機構
○超音波ノズルによるスキャンスプレー洗浄
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基本情報WETプロセス装置 LCDマスク洗浄装置
【特徴】
○LCD用マスクをブラシ及びUSスプレーにて洗浄し、
高速スピン回転により乾燥を行なう
【WET関連装置】
○マルチスピンプロセッサー
○枚葉スピンプロセッサー
○枚葉基板洗浄装置
○LCDマスク洗浄装置
○LCDカセット洗浄装置
○LCD枚葉エッチング装置
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カタログWETプロセス装置 LCDマスク洗浄装置
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