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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-100シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
DA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプ...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部