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極低温から高温までの温度を選択可能な真空プローバーシステム!
ーター追加 ■温調器ユニット ■ロードロック機構 ■ロードロック機構+サンプル搬送BOX ■バイアス測定ユニット ■高周波測定ユニット ■低ノイズオプション(+1pA 以下) ■側面モニターユニット(CCD&モニター付) ■ソフトコンタクトダンパー(着針時の針圧低減) ■高真空排気装置(真空計付) ■コンベクション真空計(大気~10-4Torr) ■タングステンプローブ針(1...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サーマルブロック
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