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磁気軸受ユニットを新規設計・低振動化を実現!
『STP-iX457シリーズ』は、コントロールユニットの小型化を図り、コンパクト にポンプ下に搭載した、コントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 超小型電子部品を採用し、コントロールユニットの高さ寸法をコンパクトに収め、 ポンプ下に配置しま...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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ポンプの揺れを検知し、瞬時に自動で磁気軸受剛性を切替!
『STP-iXU457』は、超低振動性能とMB剛性性能向上の両立を達成し、コントロール ユニットの小型化を図り、コンパクトにポンプ下に搭載したコントローラ 一体型ターボ分子ポンプです。 1KHzから2KHzでの周波数帯の最大振動ピークを抑制、また、ピーク振動のみ でなくベース振動の...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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