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ビーム加工・金属3Dプリンターを用いたマスクやコリメーターの提案
超微細スリットのマスク、高アスペクト比のコーデッドマスク、コリメーター…
ロングパルスレーザー より効率的に熱を加えることで微小孔で多孔等を高速・高品位に加工。 更に、前後の処理工程(精密加工技術)と組合わせることにより低コスト加工。 超短パルスレーザー加工 パルス幅の非常に短いレーザー(ピコ秒、フェムト秒等)を用いて微細加工する加工法。 熱影響が少なく、高品位な仕上がり。 集束イオンビーム装置(FIB) 数十ナノメートル程度に集束し...
メーカー・取り扱い企業: 東レ・プレシジョン株式会社
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