ビームシャッター付レーザー高さ・角度調整装置

レーザーの高さと角度の可変機構とビームシャッターを組み込んだシステムで…

レーザーの高さと角度の可変機構とビームシャッターを組み込んだシステムです。レーザーの高さと角度はポールスタンドとゴニオステージにより手動で可変可能です。高さは+110mm、角度は最大±20°まで調整可能です。ビームシャッターはシャッター径φ25.4mmで手元スイッチにより開閉可能で、開閉時間は10msです。...

メーカー・取り扱い企業： ツクモ工学株式会社 本社工場

光量検査装置

レーザービームをレンズ、フィルタ等で光量調整し、光検出器で光量を測定す…

レーザービームをレンズ、フィルタ等で光量調整し、光検出器で光量を測定するシステム。レンズの種類、位置調整が可能。また検出器側も細かい位置調整が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： ツクモ工学株式会社 本社工場

ナノ表面粗さ・形状計測器『ナノセブン TN-A1』

ウエハーの検査に好適！サブナノレベル表面の粗さ・形状を計測します

『ナノセブン TN-A1』は、ウエハーの検査に適しているナノ表面粗さ・ 形状計測器です。 研磨加工機の近くに設置して全数検査可能。 レーザーによる非接触型計測のため、計測対象物と接触しません。 また、光ヘテロダイン干渉法による位相差計測を採用し、光の波長を 基準としているため高さ方向分解能0.1nmが可能となり、AFMと互換性...

メーカー・取り扱い企業： ツクモ工学株式会社 本社工場