- 製品・サービス
1件 - メーカー・取り扱い企業
企業
67件 - カタログ
492件
絞り込み条件
-
-
-
小型設計ながら性能はキープ!高温での基板加熱が可能なスパッタ装置
【仕様】 ■到達真空度:1×10^-4 Pa以下 ■リーク量:1×10^-8 Pa・m3/sec以下(Oリング透過分を除く) ■排気系:TMP+ダイヤフラムポンプ(またはロータリーポンプ) ■真空計 フルレンジ真空計(コールドカソード+ピラニーゲージ) +キャパシタンスゲージ(オプション) ■基板ステージ:2インチ対応ステージ ■基板加熱温度:MAX500℃...
メーカー・取り扱い企業: アリオス株式会社
-
- 表示件数
- 45件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
※このキーワードに関連する製品情報が登録
された場合にメールでお知らせします。