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6インチウエハーの一括転写が可能!ナノメートル構造を転写できるサーボプ…
、 6インチウエハーの一括転写が可能なサーボプレス機です。 熱インプリント、室温インプリント、光インプリントの3種類の ナノインプリント機能を備えています。 オプションで、ウエハーの位置合わせを自動化するアライナー機能 を搭載できます。 【特長】 ■フレキシブル条件設定 ■アライナー機能 ■3種類のナノインプリント機能 ・熱インプリント ・室温インプリント ・光...
メーカー・取り扱い企業: 明昌機工株式会社
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昇温・冷却時間を短縮し高速インプリントを実現!一括転写を可能にしたプリ…
一括転写を可能にしたナノプリンターです。 昇温・冷却時間を短縮し、高速インプリントを実現。 ナノメートル構造を精度良く転写可能なサーボプレス機となっています。 オプションで、ウエハーの位置合わせを自動化する アライナー機能を搭載できます。 【特長】 ■フレキシブル条件設定 ■3種類のナノインプリント機能 ■アライナー機能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧い...
メーカー・取り扱い企業: 明昌機工株式会社
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