【性能編】シャフトモーターの高精度位置決めをUVWステージへ展開

摩擦のないシャフトモーターだから、精度劣化がない高精度位置決めステージ

♦シャフトモーターをXY軸それぞれ２モーター配置、高精度の位置決めが可能 ♦摩擦がないため、摩耗による精度の劣化がない ♦XYΘすべての軸をシャフトモーターで駆動するまめ低姿勢で安定した精度を確保 ♦動作条件・負荷条件によってシャフトモーターを選定、カスタマイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジイエムシーヒルストン

高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージ

シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウ…

※2024.12.11～13　SEMICON Japan 3Hall #3121ブースで出展・当製品を出展します！ シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。 このXYステージは… ♦上軸・下軸ともパラレル駆動を採用（2台のモーターを１台のアンプと１式のエンコーダーで駆動） ♦パラレル駆動を採用することで、中空構造のス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジイエムシーヒルストン

シャフトモーター『Sシリーズ』

従来のリニアモーターとは違うシンプルで多彩な特長・性能を持ったリニアシ…

『Sシリーズ』は、高速・高効率・高精度位置決めが可能な シャフトモーターです。 形状的にボールねじ機構のリプレイスがしやすい「S040」をはじめ、 1台のドライバーで複数の同期パラレル駆動が可能な「S080」など、 多数ラインア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジイエムシーヒルストン

シャフトモーター『SXシリーズ』

小型シャフトに新たなシリーズが登場！従来モデルと比較して推力アップを図…

耐久性が優れている「SX080」や形状的にボールねじ機構の リプレイスがしやすい「SX100」をラインアップしております。 【SX060 特長】 ■高速動作 (タクトアップ) ■高精度位置決め (フルクローズド制御) ■圧倒的な速度安定性 ■高速整定 (ハイレスポンス) ■形状的にボールねじ機構のリプレイスがしやすい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジイエムシーヒルストン