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欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微…
・Z移動距離:25 mm ・分解能:0.1 µm ・繰り返し誤差:<1 µm ■XYスキャナ範囲:100 µm × 100 µm ■XYスキャナ分解能:0.095 nm (20ビット位置制御) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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