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  • 極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』 製品画像

    極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

    40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…

    【その他の特長】 ■新開発のポンプ素子で低い圧力領域での放電を改良し、NEG(非蒸発型ゲッタ) 　モジュールにより、10^-10Pa台を実現 ■組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現 ■40％のサイズダウン(当社比) ■カバー、マグネットなどの塗装には、スムーズな表面の耐熱塗装が施されている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に...

    メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

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