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微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定
MSには有機物、無機物の同時評価、微小領域に対応、最表面を感度よく分析できるなどの特徴がありますので、洗浄工程での残渣調査などに力を発揮します。 Siウェハ上で純水を乾燥した事例を紹介します。光学顕微鏡では点状の異物や曇りがわずかに見えるだけです。TOF-SIMSで測定した結果、汚れ部では、炭化水素、PDMS、アミドなど自然に吸着しやすい有機成分が凝集していることがわかりました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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imec社製 スキャン機構内蔵ハイパースペクトルカメラ可視・赤外
分光フィルタ搭載ハイパースペクトルカメラ SNAPSCAN VNIR …
Imec社のハイパースペクトルカメラは、独自開発の光学フィルタを使用しており、非常に小型で軽量化されています。スナップスキャンモデルは、スキャン機構を内蔵しており、ステージなしで100バンド以上の分光情報が取得できます。手軽に高解像度・高精度の計測が可能となり、可動ステージの使用が難しかった顕微鏡での撮影も容易です。ファンとペルチェ素子(TEC)によるアクティブクーリングを採用し、ソフトウェア処理...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルゴ
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長時間の高い安定性を要する用途に最適なDPSSレーザーです。
スウェーデンのストックホルムに本社を置くCobolt社は、独自のHTCure製法という筐体内の各光学部品を高温硬化・固定する手法により、堅牢かつ完全密閉のキャビティー構造により従来のDPSSレーザーでは達成することのできなかった耐衝撃性と耐湿性を得ています。高出力、高ビーム品質、超低ノイズを誇るCobolt社のDPSS及び半導体レーザーは、ラマン分光、フォトルミネッセンス、共焦点顕微鏡、フローサイ...
メーカー・取り扱い企業: プネウム株式会社 本社
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