エキシマ照射装置　チューブタイプ

従来の水銀ランプよりエネルギーが高い波長の真空紫外光を発生！

株式会社クォークテクノロジーのエキシマ照射装置は、高光子エネルギー 真空紫外光源のエキシマランプによる有機物洗浄や、表面改質に必要な 励起酸素原子を発生させ、半導体製造装置をはじめ各種フィルム表面改質装置 などに利用されています。 準単色光でエネルギー変換効率が良く、他の放電灯のような不要な可視光、 赤外光が比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー

株式会社クォークテクノロジー 製品カタログ

光応用技術を利用した各種産業用設備機器を掲載！

当カタログは、主に紫外線照射装置製造販売・露光装置製造販売・その他、 各種石英、セラミック商品の取扱いを行う株式会社クォークテクノロジーの 製品カタログです。 半導体製造装置などの各種フィルム表面改質装置などに利用される「エキシマ 照射装置」をはじめ、「UV-LED照射装置」や各種測定器を掲載しています。 お客様の用途に応じて様々な製品をお選び頂けます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー