エキシマ照射装置　チューブタイプクォークテクノロジー

従来の水銀ランプよりエネルギーが高い波長の真空紫外光を発生！

株式会社クォークテクノロジーのエキシマ照射装置は、高光子エネルギー
真空紫外光源のエキシマランプによる有機物洗浄や、表面改質に必要な
励起酸素原子を発生させ、半導体製造装置をはじめ各種フィルム表面改質装置
などに利用されています。

準単色光でエネルギー変換効率が良く、他の放電灯のような不要な可視光、
赤外光が比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージを与えません。

また、瞬時の点灯点滅ができ、この際エキシマランプにダメージを与えません。

その他、高効率洗浄により、コンベア搬送中の照射も可能です。

エキシマ照射装置は、特長の異なるフラットタイプも取り扱っておりますので、
用途に合わせてお選び下さい。

【特長】
■準単色光
■波長172nm
■瞬時点灯点滅
■コンベア搬送中照射も可能
■ランプ本数低減、付帯設備不要

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.quark-tec.com/product/index.html#01

基本情報エキシマ照射装置　チューブタイプ

【ラインアップ】
■小型エキシマ照射装置　QEV-150
■6インチエキシマ照射装置　QEV160
■8インチエキシマ照射装置　QEF230
■12インチエキシマ照射装置　QEV360

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■UVオゾン洗浄 ■ドライエッチング／ソフトアッシング ■UVアニール ■表面改質 ■レジスト残渣除去 ■ガラス貼り合せ ■光CVDなど成膜　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。