磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-200

Better Pumps for Better Yields !

【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10～50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受･バルブ･軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高めら...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型ベアリングレス　BPS-4000

Better pump for Better Yields !

【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10～50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受･バルブ･軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高めら...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社