リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニター

半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…

半導体プロセス中のウエハ温度のモニタリングは非常に重要なプロセス・パラメータですが、今まで適切な測定方法が確立できていないために、温度以外のパラメータでプロセス状況を推測してきました。 ウエハ放射率にはロット内でばらつきがあるにも関わらず、一般の放射温度計では測定対象物の放射率をユーザーが適当に決めなければならないため、温度誤差が発生し、温度測定自体の信頼性が乏しいことがその理由でした。 弊...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム

中赤外センサ『InAs,InAsSbセンサ』

Hg、Cd、Pb不使用！専用のTECコントローラ使用で高信頼性の計測が…

Vigo社製中赤外センサ『InAs,InAsSbセンサ』 を取扱っています。 当製品は、将来的にRohSなどの規制対象になることが懸念されている物質を 使用していない、中赤外に感度を持つ半導体型センサです。 常温もしくは電子冷却タイプなので小型で場所を選ばず、 長年培ってきた半導体型赤外センサの製造技術により 電子冷却ながら高感度を実現しています。 【特長】 ■MCT...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム