ピエゾ/ステージ 「高性能ピエゾステージ」

堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。

ただいています。ストレンゲージセンサー、インダクティブセンサー、キャパシティブセンサー等を使用しフィードバック制御をおこなったモデルもございます。光学系のアライメントや干渉計・精密加工・精密計測・半導体関連装置などの高い位置精度が求められる分野において多数お使いいただいています。専用ドライバーも高性能･低ノイズ（3mVP-P）のため高い分解能が実現できます。 特に低ノイズが要求されるアプリケー...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

New Concept Motor 「ピエゾモーター」

幅広いスピードダイナミックレンジ！

New Concept Motor 「ピエゾモーター」は、位置決め機構やステージなどに簡単に組み込み可能な小型アクチュエータです。 半導体製造装置や大口径レンズミラーマウント用に適した高出力タイプ。 広範囲な用途に使用できる新しいコンセプト、ピエゾモーターです。 【特徴】 ○高分解能 ○長いストローク ○小型 詳...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

オプトメカニック 「siskiyou」

ミラー波面の歪みを低減させるオプティクスクリップ誕生！

光学系のアライメントや干渉計・精密加工・精密計測・半導体関連装置などの高い位置精度が求められる分野において多数お使いいただいています。 【ラインナップ】 ○IXF.50cM ○IXF1.0cM ○IXF2.0cM 詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社