静電容量式露点計（酸化アルミニウム）の原理について

テクネ計測主力製品露点計 TK-100シリーズ の原理

センサーの材質に酸化アルミニウムを使用しており、 水分子量の電気容量を検知し測定しております。 高分子センサーよりも感度が高く、微量水分を検知できますが、 応答速が劣ります。用途としては、半導体、グローブボックス、電池製造など 常時低露点環境で多く利用されております。 測定範囲は、-100 ℃dp～+20 ℃dpです。 静電容量式露点計（酸化アルミニウム）の原理に関する詳細は、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクネ計測