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6インチと8インチのウエハーに対応!平行平板方式のプラズマ処理装置
○処理ステップ:3ステップ、10レシピ ○ウエハーサイズ:6インチ、8インチ兼用 ○ウエハー搬送方式 →垂直動作カセットエレベータ(6インチ、8インチ兼用) →水平・旋回動作1フィンガー吸着方式クリーンロボット ○本体寸法:W600×D1500×H1850 ○本体重量:650kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エスクラフト
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