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超精密洗浄分野に特化したフッ素系洗浄をベースに、お客様のニーズに合わせ…
サイズ:最大200mm×200mm ■スキャン方式:X-Yスキャン/θ-Xスキャン(螺旋スキャン) ■スループット:□200mmを約4分/Φ200mmを約3分 ■ワーク装置:搬送ロボット(裏面吸着/エッジクランプ) ■装置外形寸法:W1,320mm×D1,000mm×H1,700mm ■本体重量:約800 kg など ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...
メーカー・取り扱い企業: 新オオツカ株式会社 東京支店
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