ウェーハジェットスクラバー

ウェーハ単体、ウェーハリング等に対応！専用ノズル追加で界面活性剤を塗布…

ト、 エクスパンド）等々、さまざまな工程に対応可能です。 【特長】 ■純水のみで高速洗浄 ■さまざまな工程に対応可能 ■専用ノズル追加で、ブラシ洗浄時に界面活性剤（中性/弱アルカリ）を塗布可能 ■オプションでブラシ押付圧力機構を取付可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ダイトロン株式会社

ウエハーマウンター

独自の真空貼付方式！塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対…

■薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に貼り合わせ、カセットに収納 ■アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応 ■WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能 ■塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対応 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ダイトロン株式会社

マニュアルウエハーマウンター

対応サイズはφ4～8″！試作から量産まで各種デバイスウエハーの薄板化プ…

当社が取り扱っている『マニュアルウエハーマウンター』をご紹介します。 当装置はWAXが塗布されたウエハーを真空カップ内で支持基板へ貼り付けを 行います。 真空カップ内でウエハーと支持基板の貼付を行うことにより気泡の混入を 回避。貼付後に「エアスタンプ」処理をすることによりTTV...

メーカー・取り扱い企業： ダイトロン株式会社