ウェハ表面欠陥検査装置（画像式）

透明素材にも対応する高精度検査装置

【検出】 方　　　式：　微分干渉顕微鏡を用いた画像解析方式 検出サイズ：　0.3um（対物レンズ10倍使用時） 【対象基板】 種　　　類：　透明体を含む各種基板 サ　イ　ズ：　4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます 【装置サイズ】 外形寸法　：　W1,700 x D1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装