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厚さ32mm、分解能0.1µm、XY:25mm動作範囲 開口付ピエゾモ…
現 ○ストローク:25×25mm ○分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵 ○コンパクトな設計:断面高さ32mm、設置面積170×170mm ○センター開口部:78×78mm、66×66mm(最大拡大時) ○静止時に自動ロック ○PIピエゾナノポジショニング/スキャニングステージに適合 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: ピーアイ・ジャパン株式会社 本社
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