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ナノクラスの微細な変化も見逃さない!半自動で欠陥を判別して可視化するこ…
視化し、ED原理を使って 立体的に欠陥を浮き上げることで、精度よく欠陥検査を可能 ■ムラビューワー2シリーズと自動タイリング機構の組み合わせで、 サンプルサイズからΦ300mmまで観察視野拡大可能 ■広視野でnano欠陥の数値化マッピングが可能 ■数値化処理を内蔵することで解析処理/完全自動化検査を実現...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川(横浜)・埼玉・山形・愛知(名古屋)・富山・長野・青森
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