UVナノインプリントステッパー

2～8インチウェハ対応！デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えて…

当社が取り扱う『UVナノインプリントステッパー』をご紹介します。 大型樹脂モールドを使用したロール転写方式で、一括全面転写が可能。 また、高精度な転写圧力制御で、追加オプションとして加熱機構を ご用意しております。 【特長】 ■2～8インチウェハ対応 ■デバイス製作に必要な高精度アライメント ■高精度な転写圧力制御 ■加熱機構追加オプション ※詳しくはPDF資料を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社(静岡)、支店(東京・沼津・中部・大阪)、営業所(横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸)