［SRA］広がり抵抗測定法

SRA：Spreading Resistance Analysis

斜め研磨した試料面に2探針を接触させ、直下の電気抵抗を測定します。 校正用標準試料の測定値と比較する事で、測定した拡がり抵抗を比抵抗（Ω・cm）に換算します。 さらに、比抵抗とキャリア濃度の関係を示すThurberの曲線を用いてキャリア濃度（/cm3）を算出します。 ...

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