500℃温度サイクル用薄膜ストレス測定装置　FLX-2320-S

500℃温度サイクル用　薄膜ストレス測定装置　FLX-2320-S

室温から500℃までの温度範囲で 非接触・非破壊にて薄膜ストレスを 正確に測定することが可能な測定装置 【特徴】 ○膜付けされた薄膜によって生じる基板の曲率半径の変化量を算出 　曲率半径は、基板上を走査するレーザーの反射角度から計算されるため 　膜付けの前後で曲率半径を測定し、その差を算出することにより 　曲率半径の変化量（R）を求める ○測定チャンバー内の温度を自由に設定でき...

メーカー・取り扱い企業： ヤマト科学株式会社