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エンコーダ内蔵!高分解能位置決めステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化...型式:FS-1050X(S) ストローク:50 mm 専用コントローラ使用時 分解能:100 nm...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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