クリーンルーム内部機器『サーマルクリーンチャンバー』

温度ゆらぎ精度は0.1℃～0.002℃まで可能！5～40％RHの低湿度…

『サーマルクリーンチャンバー』は、清浄度がISOクラス4（クラス10）の クリーンルーム内部機器です。 PID制御、超精密部品および温度精度に合わせた気流システムを採用しており、 温度ゆらぎ精度は0.1℃～0.002℃まで可能。 また、湿度制御は40～60％RHの標準仕様範囲のほか、5～40％RHの低湿度仕様の ご要望にもお応えします。 【特長】 ■清浄度はISOクラス4...

メーカー・取り扱い企業： 日本エアーテック株式会社 本社