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透明ウェーハも高速検査!高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出!
『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、 最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。 高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出! ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます! 【その他の特長】 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クボタ計装
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ハードディスク表面欠陥検査装置 Laser Explorer
ハードディスク表面のスクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出
ハードディスク表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示します。 複数レーザーの同時照射によりスクラッチを高感度で検出するだけでなく、欠陥の凹凸形状を判定します。 特長 ・高出力レーザーによる微小欠陥の検出 ・高いスクラッチ検出能力 ・欠陥の凹凸を弁別 ・全数オートフォーカス ・優れたコストパフォーマンス ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クボタ計装
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